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EUV 光刻機是半導體制造中的核心設備,只有 ASML 公司才能生產,單臺售價約 10 億人民幣,之前三星、臺積電等公司還要搶著買,然而今年半導體形勢已經變了,EUV 光刻機反而因為耗電太多,臺積電計劃關閉省電。
來自產業鏈的消息人士手機晶片達人的消息稱,由于先進制程產能利用率開始下滑,而且評估之后下滑時間會持續一段周期,臺積電計劃從年底開始,將部分 EUV 設備關機,以節省 EUV 設備巨大的耗電支出。
據了解臺積電目前擁有大約 80 臺 EUV 光刻機,主要用于 7nm、5nm 及以下的先進工藝,今年 9 月份還會量產 3nm 工藝,都需要 EUV 光刻機,然而隨著 PC、手機、顯卡等產品的需求下滑,先進工藝生產的芯片勢必會受到影響。
蘋果今年的 iPhone 14 Pro 系列的 A16 處理器也沒有急著上 3nm 工藝,還在用 4nm 工藝,此外蘋果還因為 3nm 能效問題,取消了初代 3nm 生產芯片的計劃。
相比之前的 DUV 光刻機,EUV 光刻機需要使用高能激光器,而且光線會多次折射導致損耗極大,早期效率只有 0.02%,現在量產的說是可以達到2% 效率,但也意味著絕大多數電力都要消耗掉。
EUV 光刻機生產一天需要 3 萬度電左右,一年耗電大約 1000 萬度,是十足的電老虎。
(邯鄲小程序開發)